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表面电阻率测试方法
目前通用的测试标准主要包括:
DIN EN 100 015/1 和 ASTM D257 标准
IEC 61340-4-1、ANSI/ESD S4.1 和 ANSI/ESD S7.1 ANSI/ESD STM11.11,ANSI/ESD STM11.13 普遍采用的是ASTM D257 标准,
ANSI/ESD STM11.11 和 ANSI/ESD STM11.13标准。
ANSI/ESD STM11.11主要用于面积较大的平面电阻和电阻率测试,
ANSI/ESD STM11.13可用于尺寸较小的平面如载带/薄膜表面的电阻和电阻率测试。
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